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법무법인 민후는 2015년 12월, 클린룸에 필요한 가습 장치를 특허 출원하였습니다.

본 발명은 전자·정밀 기기 등의 제조에 이용되는 클린룸의 청정도 향상을 위한 것으로, 클린룸 내부의 환경에 맞추어 조절이 가능하며, 클린룸의 냉각 및 가습 효과를 동시에 달성할 수 있도록 합니다.