법무법인 민후는 2016년 1월, 수가습 장치의 제어 방법 및 장치 특허 출원하였습니다.
본 발명은 수가습 장치의 제어 방법 및 장치에 관한 것으로 수가습 장치는 오염 물질이 제거된 초순수를 분사노즐을 통해 클린룸 내에 직접 분사하여 클린룸의 냉각 및 가습 효과를 동시에 달성할 수 있는 장치입니다. 기존의 수가습 장치는 다양한 환경적 요인에 의해 외기의 온도 또는 습도가 급변하는 상황이 발생할 경우 클린룸 내부의 온도 및 습도가 일정하게 유지되지 못하는 외란(disturbance)이 발생하게 되는 문제점이 있습니다.
본 발명은 기존의 수가습 장치의 문제점을 개선하여 외기의 온도 및 습도 변화에 강인하고 클린룸 내부의 온도 및 습도가 일정하게 유지될 수 있도록 도와줍니다.
